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磁控考夫曼离子束系统维护维修（ZXCG-JJ-240036）采购公告

公告-招标公告

福建 -福州

发布时间： 2024年06月17日

摘要信息

招标单位

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代理联系人

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投标截止时间

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招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

磁控考夫曼离子束系统维护维修	****
2024-06-17 11:33:02	2024-06-20 12:00:00
****	货到验收合格付清全款

	签约后15个工作日内
￥90000.00




********学院
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

磁控靠父母离子束系统维护维修

项

真空应用设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

不限

￥ 90000.00

1. 更换新磁控靶 6 台预期效果：[每个磁控靶工作正常，无退磁无高温问题，磁控靶溅射均匀性优于±5%，溅射重复性优于±3%。] 2. 水排改造改造具体内容：[更换水排回流排，更换设备连接水管，清洗冷却水路] 预期效果：[每个磁控靶单独供水，解决磁控靶因为水温过高退磁的问题。] 3. 更换电离规电离规规格：[ZJ27] 更换必要性：[小磁控无法读取高真空数值，经检测为ZJ27电离规灯丝损坏，现场更换后故障解决] 4. 更换磁控靶挡板改造具体内容：[增加磁控靶挡板] 更换后影响：[可以完成多层镀膜的工艺切换。在进行复杂的多层镀膜过程中，增加的挡板可以方便地在不同靶材或镀膜模式之间进行切换，确保镀膜工艺的顺利进行。] 5. 更换泵口充气电磁阀挡板阀规格：[JDQ40-KF40] 更换理由：[电磁阀阀阀体老化，不能保证每一次都可以完全打开，导致真空系统抽气不稳定] 6. 维修流量控制器故障现象：[流量控制器不受控制，6mm气路充气阀损坏，无法关闭] 7. 加热器更换及加热电源维修故障现象：[大磁控样品无法加热] 维修效果：[加热温度室温至800度连续可调，控温精度±0.1度。] 8. 增加一块钢瓶加压表增加部位：[新增加一路工艺气体，现场有钢瓶但没有减压表。] 9. 更换射频电源输出电缆维修效果：[更换长度事宜的电缆，可以连接大磁控设备里面的所有磁控靶上。] 10. 增加双路1KW磁控电源增加原因：[原设备有一个过渡腔室一直闲置，通过这次维修，在这里面增加一个磁控靶及磁控电源，可以增加设备的利用率。] 维修效果：[增加后的磁控靶高度调节顺畅，无漏气漏水现象。样品加热功能正常，磁控电源工作正常。] 11. 增加样品旋转滑环装置增加原因：[原设备电线随着样品转动，导致法兰上的陶封电极经常受力，时间久后法兰上的陶封电极密封口处漏气。] 改造具体内容：[增加样品旋转滑环装置] 12. 射频电源维修故障现象：[射频电源无法正常启辉镀膜] 维修效果：[维修后电源启辉正常，自动匹配调谐正常，镀膜成膜正常。]

服务年限:质保期三年;