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广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年06月至2024年07月政府采购意向

预告-招标预告

广东 -佛山

发布时间： 2024年06月18日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

半导体

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年06月至2024年07月采购意向公开如下：

序号采购项目名称采购需求概况落实政府采购政策情况预算金额(元) 预计采购时间备注

等离子去胶机采购项目

标的名称：等离子去胶机

标的数量：1

主要功能或目标：使用等离子体对残留在晶圆表面的的光刻胶等黏附物质进行去除。

需满足的要求：1.传片系统、供气系统、低温与常温两种去胶工艺腔、RF射频源、Chiller/Pump；要求适用于8inch晶圆。2.供气系统： 1）气路≥5路；配备过滤器、手动隔膜阀； 2）RF射频源：配备（偏置）射频发生器、匹配器；3.低温与常温去胶工艺腔：去胶效果均要求片内、片间批间的均匀性<5%；微粒（> 0.2μm）增加量<30ea；4.工艺稳定性： 1）电源输出功率、温度稳定且在一定范围内可调；

落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况

2,500,000.00

2024年07月

本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

****

2024年06月18日

标书代写

招标进度跟踪

2024-06-18

招标预告

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