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项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之蒸发台(重新招标))
项目编号:****
招标范围:设备名称:蒸发台 设备数量:3台 设备用途:通过真空泵组排气,在具有加热除气功能且密闭性良好的腔室中建立高真空环境。当腔室内部达到本底真空后,利用电子束蒸发Ti、Pt、Au、Cr、Ta等材料,使其均匀沉积在晶圆表面,以获取相应制备材料的金属薄膜。
招标机构:****
招标人:****
开标时间:2024-05-31 09:30
公示时间: -
中标结果公告时间:2024-06-18 10:30
中标人:****
制造商:爱发科真空技术
制造商国家或地区:中国