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| 1 | 硬X射线自由电子激光装置-多功能超高真空集成系统 | "功能参数: 反应主腔系统:小于1E-10 mbar的真空度,需要渗氢处理;集成在主腔前置的狭缝束流准直系统行程10mm-15mm,调节精度为纳米量级,且适用于超高真空。 束源腔系统:进样腔采用10μm、50μm和100μm三个不同尺寸的喷嘴,可以进行在线切换,具有液氮冷却功能。 " |
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