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发布日期:2024-06-18
项目概况
| 项目名称 | 强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工 | 项目编号 | **** |
| 开始时间 | 2024-06-18 14:55 | 结束时间 | 2024-06-23 14:55 |
| 供应商资格要求 | 参照《****政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额(元) | 432000.00 |
| 采购方式 | 竞价 | ||
采购货物信息列表
| 1 | 强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工 | 9 | 套 | ****000 | ||
| 技术参数 | 1.靶耐受功率在300-1000W连续可调,800W可长期工作100小时; 2.靶绝缘电阻大于50MΩ; 3.靶冷却背板为高纯铜材料; 4.带屏蔽射频电缆,长度为1米; 5.带强制水冷结构,能承受5公斤的冷却水压力; 6.靶座结构件:****; 靶材:可安装各类金属靶、陶瓷靶; 磁铁:钕铁硼强磁磁铁; 密封、转动件:NSK、UKS等。 | |||||
| 相关材料 | ||||||