【分散采购备案单】强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工

发布时间: 2024年06月18日
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【分散采购备案单】强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工

发布日期:2024-06-18

项目概况

项目名称 强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工 项目编号 ****
开始时间 2024-06-18 14:55 结束时间 2024-06-23 14:55
供应商资格要求 参照《****政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 预算金额(元) 432000.00
采购方式 竞价

采购货物信息列表

序号 货物(服务)名称 数量 计量单位 预算单价
1 强制水冷150mm射频磁控靶阴极加工 9 ****000
技术参数 1.靶耐受功率在300-1000W连续可调,800W可长期工作100小时; 2.靶绝缘电阻大于50MΩ; 3.靶冷却背板为高纯铜材料; 4.带屏蔽射频电缆,长度为1米; 5.带强制水冷结构,能承受5公斤的冷却水压力; 6.靶座结构件:****; 靶材:可安装各类金属靶、陶瓷靶; 磁铁:钕铁硼强磁磁铁; 密封、转动件:NSK、UKS等。
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