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天津大学 - 竞价公告（CB100562024000451）

公告-招标公告

天津 -天津

发布时间： 2024年06月21日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

**** - 竞价公告（****）

发布时间：2024-06-21 15:56:54 截止时间：2024-06-25 09:00:00标书代写

申购主题：热蒸发镀膜机

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址： **市/****

供应商资质：

备注说明：

送货时间：合同签订后7天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算：人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

热蒸发镀膜机

1.0/

维意真空

QS-EV3F

1 腔室尺寸：Ф246×260mm（具体尺寸以设计为准），1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接； 2 样品台：具有加热功能500℃，实际样品台温度不低于440℃，尺寸Ф100mm；另外样片台具备样片偏压清洗功能以及±60度倾斜角功能，具备独立的样品台挡板，膜厚仪探头位于挡板下方； 3 真空系统：机械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s，用CF法兰)；GDC-25b电磁挡板阀； 4 极限真空：8.0×10-5Pa； 5 真空抽速：大气～8.0×10-4Pa ≤ 30min； 6 真空测量：全量程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa； 7 蒸发源：3组电阻蒸发源，3组间可切换，源间有防污板，有挡板，距离样品台220mm； 8 蒸发电源：直流蒸发电源1台，0 W～2000W连续可调，供3组蒸发源切换使用； 9 偏压电源：配置1.5KV偏压电源一台，可对基片进行等离子辉光清洗； 10 膜厚控制系统：国产FTM-107A单水冷探头，控制精度1； 11控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能； 12设备外形：L60cm×W60cm×H96cm机电一体化机架，预留2个CF35法兰接口； 13 设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）； 14 冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）