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微波等离子体CVD沉积系统
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3450000.00
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***********公司企业信息
****2024年6至7月政府采购意向-微波等离子体CVD沉积系统 详细情况
| 微波等离子体CVD沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年6至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 微波等离子体CVD沉积系统 |
| 预算金额： | 345.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
微波等离子体CVD沉积系统
|
| 采购需求概况 ： |
1、功率：0 – 75 kW连续可调 2、频率：915 MHz，精度± 5 Hz 3、最大沉积面积：φ 300 mm 4、极限真空度：5×10-4 Pa 5、六路高纯气体流量控制系统
|
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2024-06-21
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