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| 超高纯氟化物原料处理系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2024年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 超高纯氟化物原料处理系统 |
| 预算金额: | 190.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****1400给料设备
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| 采购需求概况 : |
1.腔体内径≥Ф1200mm;真空度优于1×10-3pa,极限真空度达到5×10-4Pa(冷态),12小时保压真空指标≤10Pa(冷态空炉);多气路及气体流量控制功能,满足Ar、CF4等含氟气氛混使用要求,并具有尾气处理功能;最高温度1700℃,控温精度±0.2℃;单炉次处理能力达到100Kg 2.交货期5个月以内,保修期2年
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| 预计采购时间: | 2024-12 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写