招标详情
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400-688-2000
项目名称
| 交通运输工程科学建设项目 | 项目编号
**** |
公告开始日期
| 2024-06-29 10:34:50 | 公告截止日期
2024-07-03 11:00:00 |
采购单位
| **** | 付款方式
货到验收合格后付款 |
联系人
| 联系电话
|
签约时间要求
| 到货时间要求
签订合同后70个工作日内 |
预算总价
| ¥550000.00 |
发票要求
|
含税要求
|
送货要求
|
安装要求
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收货地址
| ****市**区昭君路24号********学院 |
供应商资质要求
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明
|
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 台阶仪(Stylus Profiling System) |
1 |
台 |
半导体器件参数测量仪 |
品牌
| Bruker |
型号
| Dektak XT |
预算单价
| ¥ 550000.00 |
技术参数及配置要求
| 技术参数 接触式测量模式,扫描时保持探针和样品表面的压力恒定。 (1) 最大扫描长度≥200mm; (2) 测试所允许的最大样品厚度≥50mm; ★(3) 测试高度方向的重复性≤0.4nm(1微米的标准台阶); (4) 垂直方向的扫描范围≥1000um; (5) 测试垂直分辨率≤0.1nm (在6.55μm测量范围内); ★(6) 自动样品台,XY行程150mm*150mm,自动360度旋转; (7) 光学系统:彩色CCD 180x放大倍率,310万像素,具有可视化导航操作,方便样品的定位和测量; ★(8) 探针压力:1-15mg能精确控制探针压力,保证在不同力下不破坏样品; (9) 提供标准校准模块,含校正证书; ★(10) 仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性,数据重复性和可靠性; (11) 提供专用分析软件并承诺终身免费升级; (12) 系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性; (13) 单次扫描最大采样点数120,000; (14) 多次扫描分析≥30次; ★(15) 标配带有磁性吸附自动更换探针附件工具,而不是固定在设备主机上; (16) 仪器配有环境保护罩,防止静电环境影响; (17) 可做表面粗糙度**整度分析,薄膜应力测量功能; ★(18) 自动台需配有正版授权的3D分析软件; 配置要求 (1) 仪器配置测量主机1台; (2) 标配曲率半径2 um探针1根; (3) 1微米标准校准模块1块; (4) 专用8英寸真空卡盘1个; (5) 提供满足台阶仪正常运行所需要一切配套软件及硬件; |
参考链接
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售后服务
| 技术支持:5x24小时;售后服务:五年;服务响应时限:报修后24小时;质保期:一年;培训要求:培训两次;是否含税:进口免税; |