高温固态谐振陀螺仪谐振子膜层制备系统

发布时间: 2024年07月05日
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****2024年7至12月政府采购意向-高温固态谐振陀螺仪谐振子膜层制备系统 详细情况
高温固态谐振陀螺仪谐振子膜层制备系统
项目所在采购意向: ****2024年7至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 高温固态谐振陀螺仪谐振子膜层制备系统
预算金额: 120.000000万元(人民币)
采购品目:
A****9900其他仪器仪表
采购需求概况 :
"在保证谐振子面向精度、圆度与粗糙度的基础上,实现谐振子及电极基板镀膜并检测膜层的粗糙度和膜层应力等关键参数,其主要性能指标如下: 主要性能指标如下: ①真空室尺寸:Φ500mm*H450mm顶升盖 ②极限真空度:优于6.7×10-5 Pa ③真空室保压:系统停泵关机12小时后真空度≤5Pa ④适用于系统的膜层材料:各种金属、合金等导电薄膜材料,各种介质材料,特别是Ni、Cr、Au等薄膜 ⑤膜层片内不均匀性:≤±5%(三片片状样品); 周向不均匀性≤±2%;径向不均匀性≤±5%"""
预计采购时间: 2024-08
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2024-07-05
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