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中山大学电子与信息工程学院多功能真空离子镀膜机采购项目
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1630000.00
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相关单位：
***********公司企业信息
****2024年8月政府采购意向-********学院多功能真空离子镀膜机采购项目 详细情况
| ********学院多功能真空离子镀膜机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ********学院多功能真空离子镀膜机采购项目 |
| 预算金额： | 163.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
设备主要用于光电子器件开发用高质量功能薄膜的沉积制备。 1、有效镀膜范围或样品尺寸不小于210 mm ×210 mm，可兼容硬质衬底和易碎的薄硅片等衬底，样品台能够在水平面内实现 360 度自转，可连续旋转且转速可调≤ 20 rpm。 2、镀膜均匀性：配置膜厚仪，在膜层厚度5~100nm下，基板片内镀膜均匀性≤5%；多弧离子镀，在膜层厚度50 nm~10 um下，基板片内镀膜均匀性≤10%。 4、基板温控范围：室温至50摄氏度。 5、工艺腔极限真空度：≤5E-4 Pa。
|
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2024-07-12
招标预告
中山大学电子与信息工程学院多功能真空离子镀膜机采购项目
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