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| 反应离子刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2024年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 反应离子刻蚀系统 |
| 预算金额: | 130.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A-货物_A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****0300-电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
采购标的名称:反应离子刻蚀系统 主要功能目标:电场引导等离子体对氧化物、硅等指定材料实现高各向异性刻蚀。 采购标的数量:1 质量要求:按照合同中约定的产品技术标准及设备清单、国家质量检测标准进行验收,验收合格后提供给买方一套完整的技术资料,包括技术说明书、产品技术标准(含验收标准)、安装调试使用保养维修手册、产品原产地出厂合格证及出厂货物明细表、完整的备件和特种工具或服务等清单等。 时限要求:2024年12月31日前到货,30天内完**装,保修期3年。
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| 预计采购时间: | 2024-04 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写