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| 原子层沉积仪 | MNT | 194900.00 | 按行业标准提供服务 | (1)腔体:4英寸基底台; (2)反应模式:“快速沉积模式”、“充分暴露模式”、“掺杂模式”; (3)前驱体输送系统:高配2路自清洗;载气:高纯氮气/氩气; (4)真空系统:Inficon压力传感、真空泵; (5)电气温控系统:PLC控制; (6)配备触摸屏外设。 | 1.0 | MNT-S100-L2 | 194900.00 | **** |