低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件

发布时间: 2024年07月15日
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****2024年8月政府采购意向-低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 详细情况
低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件
项目所在采购意向: ****2024年8月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件
预算金额: 300.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0114
采购需求概况 :
1、ICP、空心阴极、介质阻挡、微放电模拟;2、等离子体刻蚀设备中等离子体特性、中性气体特性和刻蚀轮廓演化模拟;3、等离子体增强化学气相沉积设备中等离子体特性、中性气体特性和镀膜轮廓演化模拟;4、磁控溅射设备中磁场、放电、靶材溅射、靶材粒子输运、镀膜轮廓演化模拟;5、真空设备中的稀薄气体流动模拟;6、刻蚀与沉积工艺特征轮廓模拟;
预计采购时间: 2024-08
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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