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| 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 | |
| 项目所在采购意向: | ****2024年8月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 |
| 预算金额: | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0114
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| 采购需求概况 : |
1、ICP、空心阴极、介质阻挡、微放电模拟;2、等离子体刻蚀设备中等离子体特性、中性气体特性和刻蚀轮廓演化模拟;3、等离子体增强化学气相沉积设备中等离子体特性、中性气体特性和镀膜轮廓演化模拟;4、磁控溅射设备中磁场、放电、靶材溅射、靶材粒子输运、镀膜轮廓演化模拟;5、真空设备中的稀薄气体流动模拟;6、刻蚀与沉积工艺特征轮廓模拟;
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| 预计采购时间: | 2024-08 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写