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磁控溅射靶枪购置项目（TGU-EBUY20240027）采购公告

公告-招标公告

天津 -天津

发布时间： 2024年07月15日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

磁控溅射

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

磁控溅射靶枪购置项目	****
2024-07-15 16:14:04	2024-07-17 17:00:00
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	签约后90个工作日内
￥




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符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

磁控溅射靶枪

台

其他不另分类的物品

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥

1、靶枪需满足10^-7Pa真空环境，金属密封，含配套CF法兰； 2、2英寸阴极靶枪，表面均匀布气； 3、可弯折，0-60度可调； 4、备用强磁组件1套； 5、防交叉污染，带密封挡板； 6、支持水冷； 7、薄膜（SiO2薄膜）片内及片间沉积不均匀性优于±2% @ 4英寸硅片； 8、薄膜粗糙度：沉积CoFe薄膜10 nm厚度，粗糙度优于0.2 nm； 9、价格包含靶枪上门安装调试费用、后期靶枪根据镀膜工艺要求结构改进费用，靶枪安装调试合格后一次性付清。

1. 到货：签订合同之日起100天内；2. 安装（施工）完成：货到之日起7天内；3. 质保：36个月； 4. 含关税的进口设备。