晶圆级微纳加工平台

发布时间: 2024年07月25日
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****2024年9月政府采购意向-晶圆级微纳加工平台 详细情况
晶圆级微纳加工平台
项目所在采购意向: ****2024年9月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 晶圆级微纳加工平台
预算金额: 1748.000000万元(人民币)
采购品目:
A****2002_电气物理设备
采购需求概况 :
面向学校大力发展的新材料、新能源、电子信息和前沿物理等多个学科领域。平台包括镀膜、加工和表征模块; 镀膜配备高性能离子源和最新膜厚光控,保证高精度和均匀性,满足高性能光电子集成器件等高性能薄膜的需求; 电子束可以加工高精度纳米尺寸光电子器件,达到业界顶尖精度,满足绝大多数前沿器件的加工需求,可小批量生产; 微纳结构样品形貌、尺寸观测,配备了不同波长的激光器、探测器和低温台等,可对不同种类样品进行测试。
预计采购时间: 2024-09
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2024-07-25
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