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招标发布时间:2024/7/26 9:32:20
投标截止时间:2024/8/16 9:30:00标书代写
| 薄膜等离子快速消除机 | 1批 |
项目编号:****
项目名称:****薄膜等离子快速消除机
预算金额:450.000000 万元(人民币)
最高限价(如有):450.000000 万元(人民币)
采购需求:
| 序号/ No. |
货物名称/ Name of the goods |
数量/Quantity |
简要技术规格或用途 /Main Technical Data |
交货期 / Delivery schedule |
| 1 |
薄膜等离子快速消除机 |
1套 |
晶圆承载台下电极尺寸不小于240mm,带背氦冷却;温控范围超低温-150°C~400°C高温段兼容,并配置ACU(自动温控切换单元),电极适用于300W RF Bias功率。 |
签订合同并收到信用证后12个月内。/CIP Shanghai Jiao Tong University within 12 months after signing the contract and receiving the L/C |
合同履行期限:签订合同并收到信用证后12个月内
本项目( 不接受 )联合体投标。
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