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| 团簇等离子体抛光设备 | |
| 项目所在采购意向: | ****2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 团簇等离子体抛光设备 |
| 预算金额: | 365.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300-电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
对SiC外延片表面进行精细抛光,可以降低外延层表面粗糙度,获得高质量SiC外延层,降低器件表面缺陷,从而有效提高栅氧化层质量,同时能够降低器件表面载流子散射,提高器件沟道迁移率,从而实现高质量、高可靠性的SiC MOSFET器件 。
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| 预计采购时间: | 2024-10 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写