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| 1 | 多物理量联合检测平台 | 多物理量联合检测平台(Multi-physical quantity joint detection platform)包括超精密电容传感组件、超精密压电传感组件、压电陶瓷传感组件、脉冲激光器组件和激光干涉仪组件。探究利用超精密电容传感技术、超精密压电传感技术、压电陶瓷传感技术、激光干涉技术、自适应控制技术将光、声、力、振多物理量信号进行融合,采用先进的自适应控制算法,确保系统对微小位移的高度敏感,实现实时测量系统状态和运动轴的精确位置。 | ****000.00 | 2024-09 |