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| 湿法刻蚀机 | 1.0/台 | 190000.0 | 不指定 | S-1 | 1.刻蚀机适用于6寸硅片的清洗。参数如下: 序号 名称 规格 化学液 1 S-1刻蚀机 6寸 25片(一盒) 待定(非溶剂) 1.1操作方式 手动装卸硅片架,其它所有操作手动完成。 所有化学液手动注入,DI水自动注入,化学液的排放可根据客户要求弹性设定。 2.刻蚀机技术方案 1. 机 体: PP抗静电板焊接而成(下图为大致示意图) a) 尺寸: 约800L X 1400W X 1900H mm b) 色泽: 9010白 c) 板材厚度: 10mm d) 厂家: 进口 药剂槽 Tank1# a. 材质: PP(四周板10mm,底板10mm) b. 化学药品: 酸性或碱性化学品(如SC1,SC2,DHF) c. DI供给方式: 自动方式 d. Chemical供给方式: 手动,三点N2液位保护 e. 形状: 循环槽体(外槽溢流,内槽进液) f. 循环泵: PP隔膜泵 g. 过滤器外壳: 10寸PP过滤器(不含滤芯) h. 制程温度: RT i. 排液方式: 重力排放,口径 | 按行业标准提供服务 |