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高真空金属蒸发镀膜机（清采比选20240730号）成交结果公告

结果-中标通知

北京 -北京

发布时间： 2024年08月09日

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金属蒸发镀膜机

招标详情

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空金属蒸发镀膜机	****
2024-08-06 16:16:15	2024-08-09 17:00:00
****	合同签订后70%，验收合格后30%

	签订合同后120个工作日内
￥ 260000.00




市**
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单index

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空金属蒸发镀膜机

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

ZHDS400

￥ 260000.00

1. 真空腔室：镀膜室尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304优质不锈钢真空腔室；方箱式；前门水平滑开式，可便于在手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试和使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封安全可靠；腔室预留接口，后期需要通反应气体。 2. 真空系统：复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计； 3.真空极限： 5.0×10-5Pa（设备和手套箱分体，设备空载，抽真空24小时）； 3. 升压率：设备升压率：≤0.8Pa/h（12小时平均值）；设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa； 5. 抽速：从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min（不带手套箱，设备空载）；从大气抽至8.0×10-4Pa≤10min（设备空载，干燥氮气环境）； 6. 基片台： ①基片台尺寸120×120mm，最大样品尺寸小于120×120mm；配有基片台挡板； ②旋转转速0～20转/分钟，可调可控； ③升降基片台可调节范围70mm，蒸发源与基片距离约260-330mm； ④基片台间接水冷。 7. 蒸发源及电源： ①金属蒸发源：水冷铜电极4组；逆变式蒸发电源：功率3kW；2台（1台电源可切换供2组电极分时蒸镀）； ②蒸发源配气动挡板及源间防污隔板。 8. 控制方式： PLC+触摸屏控制； 9. 报警及保护：对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统； 10. 工作气路系统： ①质量流量控制器：O2，20sccm； ②电磁截止阀：Φ6mm ； ③气管：EP 管道，内外抛光金属

12个月

成交信息

成交供应商：

****

招标进度跟踪

2024-08-09

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