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| 小型溅射仪 | 1.0/台 | **科探 | KT-Z1650PVD | 1. 控制方式:7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 2. 溅射电源:直流溅射电源 3. 镀膜功能:0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 4. 最大功率:≤1000W 5. 最大输出电压电流:电压≤1000V 电流≤1A 6. 真空度:机械泵 ≤5Pa(5分钟) 7. 射频真空:≤10Pa 8. 挡板类型:电控 9. 真空腔室:石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm 10. 样品台:可旋转φ72 (最大可安装φ70基底) 11. 样品台转速:8转/分钟 12. 样品溅射源调节距离:40-105mm 13 真空测量:皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa) 14. 预留真空接口:KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 注:发货包含:溅射镀膜仪+机械泵+膜厚监测仪+水冷机,各1台 | 保修期:1年。保修期之外,按行业标准提供服务 |