高真空热蒸镀机

货物,其他专用仪器仪表

高真空热蒸镀机1台，需要满足如下指标要求：1、真空腔体(1) 真空腔采用立式前开门方式，蒸发坩埚在下，样品架在上，自下向上沉积方式成膜。外形尺寸约Ф1000 mm×1300 mm，材料为SUS304真空专用不锈钢；(2) 真空腔前方设置2套Ф100 mm观察窗接口；(3) 真空腔内表面进行机械抛光处理，外部设有冷却水循环槽，外表面喷砂钝化处理。2、样品架(1) 样品架可以公转和自转，公转速度ωc为0~30 rpm；自转速度ωc为10~60 rpm。旋转采用步进电机通过计算机控制，速度连续可调可控；(2) ****中心轴线的垂直面所成角度α在0°~45°范围内连续可调；(3) 样品架承重25 kg，在低角度和高角度范围内均可平稳转动；(4) 样品加热温度最高温度150 ℃，数显程序控温表控温。3、束源炉(1) 束源炉1的连线在真空室的同一直径上，安装在真空室的中间，高度和位置可调，位置调整尺寸为±200 mm；(2) ****中心的垂直距离H为450±100 mm，径向距离以不与大坩埚支架干涉时的最小直径位置；(3) 束源炉2****中心位置附近，其蒸发面与垂直方向成10~20°，角度连续可调。4、真空测量系统 测量范围为大气~10-1 Pa，配有高真空规管1个，低真空规管1个，安装在真空室上，KF16真空规管1个，安装在前级管路上。5、膜厚仪，采用SQM310型膜厚测试仪，配两个探头，探头配有挡板系统，可以通过计算机控制其开关时间，以达到测试厚膜的作用。

强基拓新创新平台项目采购