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湖南师范大学采购超高真空脉冲激光分子束外延集成系统项目
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****2024年08月至2024年11月政府采购意向-****大学采购超高真空脉冲激光分子束外延集成系统项目 详细情况
| ****大学采购超高真空脉冲激光分子束外延集成系统项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年08月至2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****大学采购超高真空脉冲激光分子束外延集成系统项目 |
| 预算金额： | 388.870000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
标的名称:超高真空脉冲激光分子束外延集成系统 标的数量:1 主要功能或目标:超高真空激光分子束外延集成系统（L-MBE）是一种新型的薄膜制备技术，通过控制薄膜制备过程中的工艺条件，能够制备高性能半导体材料和开发新材料，用于生长各种纳米尺度的单层膜或多层膜，制备单晶或多晶化合物、半导体等薄膜或超薄膜样品。 需满足的要求:至少两个真空腔体，进样室极限真空≤5×10-5Pa，生长室充分烘烤后背底真空优于1E-10mbar，衬底尺寸为2-3英寸，样品台加热系统的可调范围RT～1100℃，控温精度±0.5℃；样品台可连续回转，配单独挡板；生长腔体可进行200℃烘烤；6个蒸发束源炉，温控精度±0.5°C，单独挡板；气体等离子体源；配备薄膜原位生长监测；独立的系统控制软件和工艺控制软件，含配套PC及硬件；有薄膜厚度监控。
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| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2024-08-22
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