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深圳大学深硅刻蚀及生长系统意向公开
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31700000.00
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***********公司企业信息
****深硅刻蚀及生长系统意向公开
| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 深硅刻蚀及生长系统 |
| 预算金额（元）: | 31,700,000.000 |
| 采购品目: | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: | 旨在大尺寸硅晶圆片上通过刻蚀实现具有高深宽比，良好侧壁垂直度和侧壁光洁度的通孔；并在高深宽比结构上快速均匀沉积介质和金属薄膜。质量上要求设备稳定耐用，服务方面需提供全面的技术支持与售后服务。安全上，确保操作安全与设备防护，时限上要求合同签订后迅速完成交付与调试，以保障项目按时推进。 |
| 联系人: | 党老师 |
| 联系电话: | 150****6696 |
| 预计采购时间: | 2024-09 |
| 备注: | 无 |
招标进度跟踪
2025-07-14
2025-03-25
2025-03-03
2025-02-28
流标公告
深硅刻蚀及生长系统流标公告
2025-02-12
2025-02-11
流标公告
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2025-01-26
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深硅刻蚀及生长系统招标公告
2025-01-08
2024-08-29
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