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RIE刻蚀设备
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招标估价
1220000.00
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相关单位：
***********公司企业信息
****2024年9月政府采购意向-RIE刻蚀设备 详细情况
| RIE刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | RIE刻蚀设备 |
| 预算金额： | 122.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0600-非金属矿物切削加工设备
|
| 采购需求概况 ： |
1. 样品最大尺寸：最大8寸 2. 射频功率：13.56Mhz, 30-300W，自动匹配，反射功率小于5W 3．工作压力范围：推荐2－30Pa 4. 基座水冷，配水冷机，20~25摄氏度，控制精度±0.1℃ 5．工艺气体：5路工艺气体，CF4/CHF3/SF6/O2/Ar,带MFC 6．反应室漏率：<1×10-8Pam３/sec(出厂时He检漏仪检测) 7. 极限真空： < 3×10-4Pa 8．反应室排气速度：从大气压到1*10-2 Pa的时间<5 min 9. 反应室漏率（保压）：< 3.3Pa/30min 10.刻蚀速度：> 50nm/min@ 8” SiO2 on Si wafer 11.刻蚀均匀性：< ±5% （8”,去边5mm，5点测量）
|
| 预计采购时间： | 2024-09 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-01-07
合同公告
RIE刻蚀设备
2024-11-15
中标通知
浙江大学RIE刻蚀设备中标公告
2024-10-31
2024-10-24
流标公告
浙江大学RIE刻蚀设备其他
2024-10-24
2024-10-10
2024-09-03
招标预告
RIE刻蚀设备
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