500102202408050010101的澄清修改文件

**新能源汽车产业园A区配套基础设施工程（6寸IGBT晶圆

生产线标准化厂房改扩建）特气设备采购及安装专业分包工程

答疑补遗（一）

各潜在投标人 ：

**新能源汽车产业园A区配套基础设施工程（6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建）特气设备采购及安装专业分包工程答疑补遗如下：

一、答疑部分

提问1：

1、“招标公告”中描述：包括供应系统(含附属设备)所有的设备的供货、安装调试、验收，全部工艺流程涉及到的各工艺生产线系统设备、特气输送管道、VMB与设备进口端的连接；

本项目是否为特气主系统及二次配

答复：是特气主系统及二次配。

2、“附件九-车间设备布置图240821V01(1)”与“附件一、工艺需求表”机台数量不一致；如：图纸中硅蚀刻只有4台，UIM表中有8台；

UIM表中去胶机台在P146区域，但图纸中P146区域无机台，部分去胶机台在P141区域等，请核实各区域机台数量

答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，****一中的气体区域汇总表。

3、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”机台数量有差异；

如：（1）、“附件一、工艺需求表“中刻蚀区Ar需求只有10个点，特气分区汇总2中刻蚀Ar需求有25个点；（2）、“附件一、工艺需求表“中薄膜区SIH4需求有10个点，特气分区汇总2中薄膜区SIH4需求只有6个点，等差异项，请核实各区域机台数量

答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，****一中的气体区域汇总表。

4、“附件一、工艺需求表”中：去胶机台有4%H2/N2需求，

请明确4%H2/N2供应形式：1、贵司购买成品气瓶；2、配置混气装备；

答复：已移除此类气体需求，****一中的气体区域汇总表。

5、“附件一、工艺需求表”与“气体区域汇总表”中有差异项：

（1）、UIM表中，需求Cl2的机台是21台，气体区域汇总表需求机台是13台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（2）、UIM表中，需求N2O的机台是5台，气体区域汇总表需求机台是6台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（3）、UIM表中，需求SF6的机台是25台，气体区域汇总表需求机台是6台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（4）、UIM表中，需求Ar的机台是44台，气体区域汇总表需求机台是55台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（5）、气体区域汇总表中有C4F8需求，UIM表中无此系统细项

答复：UM表中为CH2F2，已替换为C4F8，详见补遗附件一“工艺需求表”。

（6）、UIM表中，需求C2F6的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是6台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（7）、UIM表中，需求1%PH3/HE的机台是4台，气体区域汇总表需求机台是5台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（8）、UIM表中，需求NH3的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是9台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（9）、气体区域汇总表中描述：管路设计以此汇总表为准，2024.7.25增加HCL、NF3气体，UIM表中无此系统细项

答复：HCL VMB 暂放P144房间（后期工艺预留），NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。

以上差异信息烦请明确；

如果有C4F8、HCl及NF3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计

答复：C4F8由UM表中CH2F2变更详见附件工艺需求表，HCL为后期工艺预留VMB暂放P144房间，NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。

6、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”差异项：

（1）、特气分区汇总2中，刻蚀区有C4F8和NF3需求，UIM表刻蚀区分项中没有此系统需求；

答复：以特气分区汇总表气体种类为准，****一中的气体区域汇总表。

（2）、UIM表刻蚀区分项中有N2O和CH2F2、4%H2/N2需求，特气分区汇总2中没有此系统需求；

答复：以特气分区汇总表气体种类为准，****一中的气体区域汇总表。

（3）、特气分区汇总2中，薄膜区有NH3需求，UIM表薄膜区分项中没有此系统需求；

答复：机台型号CONCEPT ONE 3台。

（4）、特气分区汇总2中，扩散区有NH3、HCl需求，UIM表扩散区分项中没有此系统需求；

以上差异信息烦请明确；

如果有NH3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计

答复：扩散NH3 VMB放P145房间，HCL VMB 暂放P144房间，以特气分区汇总2机台点位为准。

7、“附件一、工艺需求表”中：N2O、Ar、C2F6、5%PH3/N2、SIH4 系统

换瓶时间均低于1 天 此项烦请确认；

答复：按“附件五气体设备功能配置表”的要求配置。

8、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”列明有99.5%He/O2需求

请明确是否有99.5%He/O2系统需求，如果有请提供详细机台需求以便系统设计；

答复：已移除HE/O2系统需求，****一中的气体区域汇总表。

9、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”项目范围描述为：各系统含第一阶段二次配部分；

VMB/VMP中是否需考虑预留二阶段机台点位

答复：以气体功能配置表数量为准,****一中的气体区域汇总表。

10、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”和“附件五- 气体设备功能配置表”设备配置有冲突

烦请确认，设备配置以哪份文件为准

答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。

11、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：监控系统需包含大宗气站的监控画面同步、大宗气体纯化器、CQC状态监控所属的输入输出信号配接和实现 GMS 监测的全部工作。

烦请提供需接GMS监控系统的设备数量及信号方式；

答复：已移除此项需求。详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”。

12、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：乙方负责、VMB到甲方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分 “**新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB一次配管路由乙方负责）”

烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置

关于其中提问1：特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：乙方负责、VMB到甲方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分

答复1：乙方负责VMB至甲方H2主管预留点、VMB到机台的二次配管道。

关于其中提问2：**新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB一次配管路由乙方负责）”

答复2：VDB已移除，乙方负责从甲方H2主管预留阀接入VMB，见一层气体管路平面布置图H2管路。

关于其中提问3：烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置

答复3：已移除VDB安装，乙方从H2主管预留点位直接接入VMB，见一层气体管路平面布置图中H2管路。

提问2：

1、“招标公告”中描述：包括供应系统(含附属设备)所有的设备的供货、安装调试、验收，全部工艺流程涉及到的各工艺生产线系统设备、特气输送管道、VMB与设备进口端的连接；

本项目是否为特气主系统及二次配

答复：是特气主系统及二次配。

2、“附件九-车间设备布置图240821V01(1)”与“附件一、工艺需求表”机台数量不一致；如：图纸中硅蚀刻只有4台，UIM表中有8台；

UIM表中去胶机台在P146区域，但图纸中P146区域无机台，部分去胶机台在P141区域等，请核实各区域机台数量

答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，****一中的气体区域汇总表。

3、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”机台数量有差异；

如：（1）、“附件一、工艺需求表“中刻蚀区Ar需求只有10个点，特气分区汇总2中刻蚀Ar需求有25个点；（2）、“附件一、工艺需求表“中薄膜区SIH4需求有10个点，特气分区汇总2中薄膜区SIH4需求只有6个点，等差异项，请核实各区域机台数量

答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，****一中的气体区域汇总表。

4、“附件一、工艺需求表”中：去胶机台有4%H2/N2需求，

请明确4%H2/N2供应形式：1、贵司购买成品气瓶；2、配置混气装备；

答复：已移除此类气体需求，****一中的气体区域汇总表。

5、“附件一、工艺需求表”与“气体区域汇总表”中有差异项：

（1）、UIM表中，需求Cl2的机台是21台，气体区域汇总表需求机台是13台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（10）、UIM表中，需求N2O的机台是5台，气体区域汇总表需求机台是6台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（11）、UIM表中，需求SF6的机台是25台，气体区域汇总表需求机台是6台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（12）、UIM表中，需求Ar的机台是44台，气体区域汇总表需求机台是55台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（13）、气体区域汇总表中有C4F8需求，UIM表中无此系统细项

答复：UM表中为CH2F2，已替换为C4F8，详见补遗附件一“工艺需求表”。

（14）、UIM表中，需求C2F6的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是6台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（15）、UIM表中，需求1%PH3/HE的机台是4台，气体区域汇总表需求机台是5台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（16）、UIM表中，需求NH3的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是9台；

答复：以气体区域汇总表机台数量为准，****一中的气体区域汇总表。

（17）、气体区域汇总表中描述：管路设计以此汇总表为准，2024.7.25增加HCL、NF3气体，UIM表中无此系统细项

答复：HCL VMB 暂放P144房间（后期工艺预留），NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。

以上差异信息烦请明确；

如果有C4F8、HCl及NF3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计

答复：C4F8由UM表中CH2F2变更详见附件工艺需求表，HCL为后期工艺预留VMB暂放P144房间，NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。

6、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”差异项：

（1）、特气分区汇总2中，刻蚀区有C4F8和NF3需求，UIM表刻蚀区分项中没有此系统需求；

答复：以特气分区汇总表气体种类为准，****一中的气体区域汇总表。

（4）、UIM表刻蚀区分项中有N2O和CH2F2、4%H2/N2需求，特气分区汇总2中没有此系统需求；

答复：以特气分区汇总表气体种类为准，****一中的气体区域汇总表。

（5）、特气分区汇总2中，薄膜区有NH3需求，UIM表薄膜区分项中没有此系统需求；

答复：机台型号CONCEPT ONE 3台。

（4）、特气分区汇总2中，扩散区有NH3、HCl需求，UIM表扩散区分项中没有此系统需求；

以上差异信息烦请明确；

如果有NH3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计

答复：扩散NH3 VMB放P145房间，HCL VMB 暂放P144房间，以特气分区汇总2机台点位为准。

7、“附件一、工艺需求表”中：N2O、Ar、C2F6、5%PH3/N2、SIH4 系统

换瓶时间均低于1 天 此项烦请确认；

答复：按“附件五气体设备功能配置表”的要求配置。

8、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”列明有99.5%He/O2需求

请明确是否有99.5%He/O2系统需求，如果有请提供详细机台需求以便系统设计；

答复：已移除HE/O2系统需求，****一中的气体区域汇总表。

9、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”项目范围描述为：各系统含第一阶段二次配部分；

VMB/VMP中是否需考虑预留二阶段机台点位

答复：以气体功能配置表数量为准,****一中的气体区域汇总表。

10、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”和“附件五- 气体设备功能配置表”设备配置有冲突

烦请确认，设备配置以哪份文件为准

答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。

11、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：监控系统需包含大宗气站的监控画面同步、大宗气体纯化器、CQC状态监控所属的输入输出信号配接和实现 GMS 监测的全部工作。

烦请提供需接GMS监控系统的设备数量及信号方式；

答复：已移除此项需求。详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”。

12、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：乙方负责、VMB到甲方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分 “**新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB一次配管路由乙方负责）”

烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置

关于其中提问1：特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：乙方负责、VMB到甲方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分

答复1：乙方负责VMB至甲方H2主管预留点、VMB到机台的二次配管道。

关于其中提问2：**新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB一次配管路由乙方负责）”

答复2：VDB已移除，乙方负责从甲方H2主管预留阀接入VMB，见一层气体管路平面布置图H2管路。

关于其中提问3：烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置

答复3：已移除VDB安装，乙方从H2主管预留点位直接接入VMB，见一层气体管路平面布置图中H2管路。

提问3：

1、《附件-十二新凌微特气二次配》要求双套管配管尺寸为1/4”*3/8”,常规双套管1/4”内管需配置1/2”外管，请明确是否可改为1/2”外管；

答复：改为1/2外套管，具体详见补遗附件十二。

2、烦请提供厂区总平面布置图、明确氢气站在厂区中位置，确定H2室外管道走向和长度；

答复：见U-5室外管道平面布置图。

3、《特气发包技术规范》工程界面：甲方负责H2主管预留安装阀门，乙方负责接入VMB，请明确H2主管预留安装阀门形式及位置；

答复：位置见一层气体管路平面布置图H2管路，DN25 316L EP隔膜阀。

4、请明确环评对氟化物惰性气体排放要求，是否可直接排放；

答复：接入厂务排气系统。

5、《特气发包技术规范》工程范围中材质要求：SIH2Cl2-SS316L V+V,常规强酸性腐蚀的和强氧化性腐蚀的气体使用V+V管道，SIH2Cl2为易燃性气体，无腐蚀性，管道是否可采用SS316L EP;

答复：可以采用316L EP管路。

6、请明确《特气发包技术规范》与《附件五- 气体设备功能配置表》的优先级，以哪个为准，特气设备的配置在这个文件中有不同要求，并且部分设备的配置是是有错误的，**NF3 GC配置称重等，请确认是否可以自行优化设备配置；

答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。

7、《附件一工艺需求表》与《附件九车间设备布置图240821V01》比对，需求表上工艺设备数量和位置与平面图无法对应：(1)如设备布置图中P150-151区域的烘箱实际数量为0需求表上数量为4，P148区锥形面刻蚀实际数量为0需求表上数量为4。(2)设备区域是否错误，如溅射台需求表上再P136，设备布置图中在P153区域;

答复：以特气分区汇总表及设备布置图为准，具体详见气体区域汇总表。

8、本项目需要易燃、毒腐、氯气、惰性四个房间，图纸中只有3个特气间，是否能更改房间规划；

答复：增加1个气体房。

9、《特气发包技术规范》要求甲方负责主配电柜电源接点，承揽商负责接入主配电柜，请明确主配电柜接点在平面图中位置；

答复：见CDS间电气图纸

答复：已移除此项需求，详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”

11、《特气发包技术规范》中设备的防火要求：任何来自主系统、子系统或组件的潜在风险火灾事故均应指出，必须装防止火灾事故的安全联锁装置，包括侦测器、报警系统和灭火系统。请明确气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接是否在本包范围内；

答复：气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接在本包范围内。

12、《特气发包技术规范》要求配置一套监控电脑，放置在中控室。请明确Intouch版本采用开发版还是运行版；

答复：Intouch版本采用开发版。

13、《附件四-侦测器配置清单》中Scrubber未配置气体侦测器，请明确Scrubber的侦测器是否在本包范围内；

答复：Scrubber的侦测器不在本包范围内。

14、投标人须知第1.1.4中本次允许投标人以投标货物的身份参加，请明确本次是货物采购，采用一般计税法，税率为13%；还是工程采购，税率为9%。

答复：采用一般计税法。

提问4：

1、《附件-十二新凌微特气二次配》要求双套管配管尺寸为1/4”*3/8”,常规双套管1/4”内管需配置1/2”外管，请明确是否可改为1/2”外管；

答复：改为1/2外套管，具体详见补遗附件十二。

2、烦请提供厂区总平面布置图、明确氢气站在厂区中位置，确定H2室外管道走向和长度；

答复：见U-5室外管道平面布置图。

3、《特气发包技术规范》工程界面：甲方负责H2主管预留安装阀门，乙方负责接入VMB，请明确H2主管预留安装阀门形式及位置；

答复：位置见一层气体管路平面布置图H2管路，DN25 316L EP隔膜阀。

4、请明确环评对氟化物惰性气体排放要求，是否可直接排放；

答复：接入厂务排气系统。

5、《特气发包技术规范》工程范围中材质要求：SIH2Cl2-SS316L V+V,常规强酸性腐蚀的和强氧化性腐蚀的气体使用V+V管道，SIH2Cl2为易燃性气体，无腐蚀性，管道是否可采用SS316L EP;

答复：可以采用316L EP管路。

6、请明确《特气发包技术规范》与《附件五- 气体设备功能配置表》的优先级，以哪个为准，特气设备的配置在这个文件中有不同要求，并且部分设备的配置是是有错误的，**NF3 GC配置称重等，请确认是否可以自行优化设备配置；

答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。

7、《附件一工艺需求表》与《附件九车间设备布置图240821V01》比对，需求表上工艺设备数量和位置与平面图无法对应：(1)如设备布置图中P150-151区域的烘箱实际数量为0需求表上数量为4，P148区锥形面刻蚀实际数量为0需求表上数量为4。(2)设备区域是否错误，如溅射台需求表上再P136，设备布置图中在P153区域;

答复：以特气分区汇总表及设备布置图为准，具体详见气体区域汇总表。

8、本项目需要易燃、毒腐、氯气、惰性四个房间，图纸中只有3个特气间，是否能更改房间规划；

答复：增加1个气体房。

9、《特气发包技术规范》要求甲方负责主配电柜电源接点，承揽商负责接入主配电柜，请明确主配电柜接点在平面图中位置；

答复：见CDS间电气图纸

答复：已移除此项需求，详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”

11、《特气发包技术规范》中设备的防火要求：任何来自主系统、子系统或组件的潜在风险火灾事故均应指出，必须装防止火灾事故的安全联锁装置，包括侦测器、报警系统和灭火系统。请明确气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接是否在本包范围内；

答复：气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接在本包范围内。

12、《特气发包技术规范》要求配置一套监控电脑，放置在中控室。请明确Intouch版本采用开发版还是运行版；

答复：Intouch版本采用开发版。

13、《附件四-侦测器配置清单》中Scrubber未配置气体侦测器，请明确Scrubber的侦测器是否在本包范围内；

答复：Scrubber的侦测器不在本包范围内。

14、投标人须知第1.1.4中本次允许投标人以投标货物的身份参加，请明确本次是货物采购，采用一般计税法，税率为13%；还是工程采购，税率为9%。

答复：采用一般计税法。

提问5：

关于纸质投标保函：招标文件要求投标保函的开立人“应当****银行、保险机构、****公司，其信用资质、履约能力、担保能力、赔付流程、安全保密等应符合工程保函业务条件”。请问如果出****公司在2022年度和最新2023年****公司监督评级及分类监管办法中均评为E级是否符合上述要求

法律依据：

根据重****管理局关于印发《****公司监管评级及分类监管办法》的通知 渝金发[2024]116号第十二条评级等级的对应含义：评级结果为E级，公司治理结构和内部控制存在严重问题，可能存在重大风险隐患，长期未开展新的融资担保业务，或已无法正常经营，需要监管高度关注，亟待采取严厉的监管措施

答复5：纸质投标保函应合法合规，符合招投标行政监督部门、行业主管部门和金融监管部门的相关规定，并满足招标文件要求。投标人对所提交的工程保函的真实性、合法性、有效性负责，严格响应招标文件提出的保函开立要求，具体详见招标文件第二章投标人须知前附表3.4投标保证金。

二、补遗部分

1、原图纸中规划的特气间3个，现变更为：特气间4个。

2、附件：

补遗1：特气发包技术规范-新陵微-2024-9-3.

补遗2：附件二 一层工艺气体管道布置平面图。

补遗3：附件一、工艺需要表。

补遗4：设备布置图

补遗5：室外管道布置平面图。

补遗6：附件十二 新凌微特气二次配。

注：本答疑补遗为招标文件的组成部分，如与招标文件不一致的地方均以本答疑补遗为准。请各潜在投标人网上自行下载本项目答疑补遗文件，招标人不再另行通知。无论投标人是否下载、查阅，均视为已知晓招标人所澄清的相关内容。

招标人：****

招标代理机构：****

2024年9月3日