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安徽大学2024年9月第六批政府采购意向

预告-招标预告

发布时间： 2024年09月11日

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为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将****2024年9月第六批采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（万元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	****超薄氧化物原子层沉积系统采购项目	1：主要功能：实现超博高k栅介质的高品质制备；2：数量：1台；3：a: 沉积系统：采购要求：简规：4英寸，500℃腔体，4路液源，1路固源。 1）反应腔系统： 4英寸双腔腔体； 2）反应模式：“快速沉积模式”（适用于平面基底）、“充分暴露模式”（专用于3维结构材料、粉末基底）、“掺杂模式”（如AZO制备）； 3）前驱体输送系统：高配5路自清洗；含自伴热Swagelok ALD阀门（≤200℃，精度±1℃，开启时间ms），水及其它4路源，配备已验证的成熟标准工艺；载气：高纯氮气/氩气； 4）真空系统：Inficon压力传感、真空泵； 5）电气温控系统：PLC控制，全系统部件及管路采用第三代可拆卸式加热保温套（≤250℃，精度≤±1℃）； 6）配备触摸屏外设；b:1) 配备可视观察窗；2) 功率：1000 W；3) 频率：13.56 MHz；4) 输出功率：额定功率1 ~ 100% ，连续可调，正反向功率VFD显示； 5）2路等离子体气路（氧气、氨气、氢气和氮气可选），1路载气；6）管路包括ALD专用隔膜阀、手动截止阀、质量流量计及相关管路； 7）等离子体气源为独立进气口。具体参数以招标文件为准。标书代写	90	2024年10月	不专门面向中小企业采购：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，****政府采购目标实现的情形
2	****透射电镜低温样品台采购项目	该系统可以实现三种功能，包括三维重构、真空传输和冷冻传输。该系统支持透射电镜常规装样方式，操作安全方便，具备沸石涂层再生设计，漂移小，分辨率高，倾角角度大，能够实现三维重构和高稳定性等功能，与现有****球差校正透射电镜兼容。具体技术指标包括：超高倾转角度范围：±80°；高分辨率保证：0.18 nm ；低温漂移速率：1.5 nm/min；最低工作温度：小于零下175 °C等。具体参数以招标文件为准。	110	2024年10月	不专门面向中小企业采购：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，****政府采购目标实现的情形

本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2024年09月11日

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招标进度跟踪

2024-09-11

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