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安徽大学超薄氧化物原子层沉积系统采购项目
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900000.00
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***********公司企业信息
****2024年9****政府采购意向-****超薄氧化物原子层沉积系统采购项目 详细情况
| ****超薄氧化物原子层沉积系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年9****政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****超薄氧化物原子层沉积系统采购项目 |
| 预算金额： | 90.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
1：主要功能：实现超博高k栅介质的高品质制备；2：数量：1台；3：a: 沉积系统：采购要求：简规：4英寸，500℃腔体，4路液源，1路固源。 1）反应腔系统： 4英寸双腔腔体 ； 2）反应模式：“快速沉积模式”（适用于平面基底）、“充分暴露模式”（专用于3维结构材料、粉末基底）、“掺杂模式”（如AZO制备）； 3）前驱体输送系统：高配5路自清洗；含自伴热Swagelok ALD阀门（≤200℃，精度±1℃，开启时间ms），水及其它4路源，配备已验证的成熟标准工艺； 载气：高纯氮气/氩气； 4）真空系统：Inficon压力传感、真空泵； 5）电气温控系统：PLC控制，全系统部件及管路采用第三代可拆卸式加热保温套（≤250℃，精度≤±1℃）； 6）配备触摸屏外设；b:1) 配备可视观察窗；2) 功率：1000 W；3) 频率：13.56 MHz；4) 输出功率：额定功率1 ~ 100% ，连续可调，正反向功率VFD显示； 5）2路等离子体气路（氧气、氨气、氢气和氮气可选），1路载气；6）管路包括ALD专用隔膜阀、手动截止阀、质量流量计及相关管路； 7）等离子体气源为独立进气口。具体参数以招标文件为准。 标书代写
|
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： |
不专门面向中小企业采购：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，****政府采购目标实现的情形
|
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2024-12-10
2024-11-29
2024-11-06
2024-09-12
招标预告
安徽大学超薄氧化物原子层沉积系统采购项目
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