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自动晶圆研磨抛光后道清洗设备

上海

发布时间： 2024年09月14日

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晶圆研磨抛光清洗

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***********公司企业信息

****2024年10月政府采购意向-自动晶圆研磨抛光后道清洗设备详细情况

自动晶圆研磨抛光后道清洗设备
项目所在采购意向：	****2024年10月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	自动晶圆研磨抛光后道清洗设备
预算金额：	190.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	1)卡盘能兼容 4、6、8 寸晶圆；2)配有防液体飞溅保护罩，该防护罩同时具备排酸和排碱功能； 3)Pencil 臂具备旋转和升降功能； 4)配有 DHF 和 DIW 喷头各一个，且角度可调； 5)腔室配有 FFU，能为腔室提供 Class 1 等级的微环境； 6)腔室废气排放管路数目≥2； 7)腔室废液排放管路数目≥2，且 HF 需要单独排放； 8)具备漏液报警和液体进口关断功能； 9)质保至少2年。
预计采购时间：	2024-10
备注：