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水平式多腔室真空退火设备

上海

发布时间： 2024年09月14日

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水平式退火

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***********公司企业信息

****2024年10月政府采购意向-水平式多腔室真空退火设备详细情况

水平式多腔室真空退火设备
项目所在采购意向：	****2024年10月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	水平式多腔室真空退火设备
预算金额：	160.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	1)退火腔数目≥2，能有避免不同材料间的交叉污染;2)最高退火温度≥1200°C,且在 1200°C 下退火时长≥12h; 3)真空腔极限真空优于 9×10-10Torr; 4)退火腔加热至 1600°C 时真空度优于 6×10-7Torr; 5)进样室极限真空优于 5×10-6Torr; 6)样品库：工位数目≥3，且每个工位都能兼容2、4、6、8寸晶圆; 7)控温表显示精度优于±5°C; 8)机械泵、分子泵、真空计等真空单元具备自动保护功能; 9)自带冷却循环装置; 10)质保至少2年。
预计采购时间：	2024-10
备注：