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刻蚀气体供气及尾气处理装置 (XJD2024091900019) 采购公告

公告-招标公告

陕西 -咸阳

发布时间： 2024年09月19日

标书代写官方

摘要信息

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投标截止时间

关键信息

尾气处理装置

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

刻蚀气体供气及尾气处理装置 (****) 采购公告

发布时间：2024-09-19 16:06:36

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求预算总价币种收货地址供应商资质要求

刻蚀气体供气及尾气处理装置	****
2024-09-19 16:06:36	2024-09-23 12:00:00
****	货到安装、调试、验收合格后，付全款。
发布竞价结果后7天内签订合同	发布竞价结果后7天内送达
	人民币
省市区**
无

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位附件

刻蚀气体供气及尾气处理装置

1.00

无

品牌型号预算单价规格参数售后服务

创世威纳

无

1、主要功能可为反应离子刻蚀机提供安全的工艺气体供气系统以及尾气处理排放。 2、主要技术指标 2.1气瓶柜规格：1200mm *1200mm*450mm 2.2可装载气瓶高度1：≥700mm 2.3可装载气瓶直径1：≥400mm 2.4可装载气瓶高度2：≥1500mm 2.5可装载气瓶直径1：≥400mm 2.6可装载气瓶数量：≥3瓶 2.7气体减压阀气压输入：≥25Mpa 2.8气体减压阀气压输出：≥1Mpa 2.9气体减压阀输入接口：G5/8RF 2.10气体减压阀输出接口：1/4卡套 2.11气体纯度：99.999 2.12尾气处理效率：＞98.5% 2.13适用气体：HCL,NH3,CL2,BCL3,SICL4,SIH 2CL2,SIHCL3,ETC 3、主要配置 3.1特气气瓶柜，3瓶装，1套 3.2普气气瓶柜，3瓶装，1套 3.3普气减压表：3套 3.4特气减压表：3套 3.5 SF6、CHF3、CF4气体，各1瓶 3.6 O2、Ar、N2气体，各1瓶 3.7尾气处理系统，1套 3.8上述气体管路以及附属配套的安装。

按行业标准提供服务，质保期12个月。