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高级型原子层沉积系统
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14600000.00
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zycgr240****12024年9至12月政府采购意向-高级型原子层沉积系统 详细情况
| 高级型原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240****12024年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****1501 |
| 采购项目名称： | 高级型原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 1460.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2402真空应用设备
|
| 采购需求概况 ： |
本项目拟采购仪器主要用于厚度为几个纳米的氧化物、氮化物、金属薄膜、高介电膜制备（**AlScN、AlBN、ZnMgO、TiN、HfZrO等）。同时，需要具备不出腔体，连续沉积叠层或顶电极的能力，用于高性能器件制备，具体关键指标如下： 1.装片尺寸：8寸且向下兼容； 2.反应腔体数量：2； 3.腔体种类：Thermal≥1，Plasma≥1； 4.全自动真空机械手； 5.叠层沉积：无需出腔，可实现双腔连续沉积； 6.薄膜种类：满足氧化物，氮化物，金属等薄膜沉积； 7.温度温控：温度范围；50-650℃，温控精度±1℃； 8.其他：等离子功率可调范围大，最大功率3000W，频率2.45 GHz，配置臭氧发生器； 9.厚度不均匀性：氧化物≤2%，氮化物或金属≤5%。
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| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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