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分子泵系统采购公告
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400-688-2000
| 申购单主题： | 分子泵系统 | 申购单位： | **** | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 服务名称 | 服务起始时间 | 服务地点 |
| 分子泵系统 | --- | |
| 服务内容以及报价要求： | 高真空法兰（mm）：250 CF/250 ISO-K 前级管道法兰（mm）：50KF 抽气速率（L/s）（对空气）：1600 压缩比：＞1×109（N2） 极限压强（Pa）：5×10-7 电机转速（rpm）：24000 振动值（um）：≤0.15 启动时间（min）：＜6 停机时间（min）：8 冷却方式：水冷 水冷泵冷却水温度（℃）：≤20 冷却水流量（L/min）：1~2 泵体烘烤温度（℃）：＜120 加热功率（W）：＜350 加热器输入电压（V）：AC220 安装方向：垂直±5° 其它配件：插板阀、波纹管、预阀、低阀、放气阀、真空计、电离规、电阻硅等。 分子泵系统主要由分子泵、插板阀、分子泵控制器、真空管道及阀门等组成，能够正常与已有低真空系统（oerlikon D60T）匹配连接。 水、电、气系统能够连接入现有JGD800提拉炉系统，分子泵系统通过过渡法兰与JGD800提拉炉相连，为真空腔体提供洁净的高真空环境。 分子泵系统与原有低真空系统共同组成的高真空系统，其控制系统和软件能够集成入现有JGD800提拉炉，实现一键式高真空获取，并保证该系统的独立性和可维护性。 | |
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