干法刻蚀机招标公告

干法刻蚀机

招标公告

招标编号：****

本招标项目干法刻蚀机招标人为****，招标项目资金来自自筹资金，出资比例为 100%。该项目已具备招标条件，现对干法刻蚀机进行公开招标。

2.1 项目名称：干法刻蚀机

2.2数量：1 台

2.3 设备组成

该设备具备自动传送晶片可实现连续刻蚀功能的全自动高真空、高精度刻蚀装置，该设备包含传输模块、真空系统、气路系统、工艺腔室、射频系统、温控系统、软件系统、终点检测系统、安全保护系统等主要部件。为全新设备。

2.4 技术要求：具体详见招标文件第五章供货要求。

2.5交货地点：**市**区西永大道23号。

2.6交货期：合同生效后120天内。调试周期21天以内（二次配完成后开始计算）。

3.1投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民**国境内注册的法人或其他组织，具备****事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

3.3投标人提供最近三年（2022-2024年）类似业绩的使用实例和情况：提供该投标产品在量产线的应用实例，投标人需保证所销售的设备与此次所投产品为同等功能的设备，须提供采购合同（所供产品****制造厂商出品、合同首页和盖章页必须提供）和验收报告，和用户联系人、电话等的业绩清单等证明材料。投标人按照上述要求必须提供3台及以上业绩证明材料。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

凡有意参加投标者，请于2024年 9 月 24 日至2024年 9 月 29 日每日上午9：00到下午17：00（节假日****公司处或以电子邮件的方式进行登记报名并购买招标文件，招标文件售价500人民币/套，售后不退。详情请咨询023-****5002、136****6113。

5.1 投标文件递交的截止时间（同投标截止时间，下同）为：2024年 10 月 15 日 09 时 00分（**时间，下同），递交投标文件时间：2024年 10 月 15 日 08时 30 分－2024年 10 月 15 日 09 时00分。地点：**市**区西永大道36****酒店会议室。标书代写

5.2 逾期送达或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。标书代写

本次招标公告在“中国招标投标公共服务平台（http://www.****.com/）、中国电科电子采购平台（www.****.com）”上发布。

招标人：****

地址：**市**区西永大道23号

联系人：吴勇

电话：023-****0107

招标代理机构：****

地 址：**市**区五里店嘉景园B座14-1

联系人：张凤

电话：023-****5002 136****6113

传真：023-****5001