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电子束光刻机

湖北 -武汉

发布时间： 2024年09月26日

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****2024年10至12月政府采购意向-电子束光刻机详细情况

电子束光刻机
项目所在采购意向：	****2024年10至12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	电子束光刻机
预算金额：	1500.000000万元(人民币)
采购品目：	A****0503工艺试验机
采购需求概况：	拟购设备可用于纳米器件加工，该设备最大曝光区域为6英寸；集成高精度的激光干涉工作台，可进行多写场的自动拼接，完成大面积纳米结构的制备；自动化程度高，自动进出样、自动进行聚焦、像散、写场畸变调节，实现大面积高自动化快速曝光；集成温度屏蔽罩，减小实验室的建设和改造成本。拟购设备需满足以下主要技术规格：1. 采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于50kV。2. 束电流范围为~300 pA到40 nA。3. 图像发生器扫描频率为50MHz。
预计采购时间：	2024-11
备注：