北京量子信息科学研究院科研仪器设备电子束曝光机（二次）成交结果公告

一、项目编号：****（招标文件编号：****）

二、项目名称：科研仪器设备电子束曝光机（二次）

三、中标（成交）信息

供应商名称：****

供应商地址：**市东**北三环东路36号1号楼7层A709房间

中标（成交）金额：1066.****000（万元）

四、主要标的信息

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

卫泰瑛（自行聘请），徐辉（自行聘请），陈墨

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。

本项目代理费总金额：7.162700 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

采购方式：单一来源采购
采用单一来源采购方式的原因及说明：
电子束曝光是微纳米加工的核心技术，电子束曝光机在量子器件的加工过程中是不可或缺的关键设备。无论是超导量子计算还是拓扑量子计算或者二维材料新奇量子特性的研究都离不开微纳米尺度的加工，从而获得微纳米的尺度进行量子特性的研究。基于目前纳米器件精密加工迫切需求，实现100nm线宽，拼接精度、套刻精度~50nm的图形加工,本次拟采购的1套电子東曝光机须满足以下参数要求：
拼接精度：500μm写场下，≤50nm,1000μm写场下，≤100nm;套刻精度：500μm写场下，≤40nm,1000μm写场下，≤80nm;图像发生器扫描频率不低于50MHz;加速电压不低于50kV;最小线宽＜50nm;配备激光干涉工作台，激光干涉仪测量分辨率不大于1nm。
根据全球调研，能满足上述需求且愿意供货同时也没有受到禁运制约的厂家只有德国的Raith。****是厂家Raith****公司，且是国内唯一销售渠道。因此申请单一来源采购。
综上，特申请单一来源采购方式，通过****购买所需的1套电子束曝光机。
成交日期：2024年9月29日
项目用途：****实验室使用。
名称、数量、简要技术需求如下：

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：****

地址：**市**区西北旺东路10号院**3号楼

联系方式：010-****7588 转 8052

2.采购代理机构信息

名 称：****

地 址：**市西**宣武门外大街10****广场中央办公楼北翼19层

联系方式：刘天泽 电话：185****6692

3.项目联系方式

项目联系人：刘天泽

电 话： 185****6692