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原子层沉积设备
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1480000.00
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***********公司企业信息
****2024年10至12月政府采购意向-原子层沉积设备 详细情况
| 原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 148.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2499其他真空获得及应用设备
|
| 采购需求概况 ： |
基片尺寸：300*400 mm。极限真空度：≤5.0×10-1 Pa，腔体漏率：≤5.0×10-7 Pa﹒m3/s。基片表面制备30 nm的SnO2均匀性：≤3%。沉积材料种类：Al2O3, SnO2、HfO2等各类金属氧化物和氮化物薄膜等。前驱体源数量：6路。
|
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2024-09-30
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