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北京科技大学亚10纳米超高精度电子束曝光系统

北京

发布时间： 2024年10月08日

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***********公司企业信息

****2024年10至12月政府采购意向-****亚10纳米超高精度电子束曝光系统详细情况

****亚10纳米超高精度电子束曝光系统
项目所在采购意向：	****2024年10至12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	****亚10纳米超高精度电子束曝光系统
预算金额：	1530.000000万元(人民币)
采购品目：	A****9900其他仪器仪表
采购需求概况：	一、采购项目名称：亚10纳米超高精度电子束曝光系统二、采购需求概况：（一）采购标的名称：亚10纳米超高精度电子束曝光系统（二）采购标需实现的主要功能或者目标该设备是电子电路微纳加工最核心的设备，加速电压可达50KV，可实现最小线宽为50 nm的精细结构加工，可实现自动聚焦等校准功能；实现自动套刻对准操作。（三）采购标的数量：1套（四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求合同签订并收到预付款或者LC后14个月内交货，质保期自验收签字之日起12个月。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。三、预算金额：1530万元四、预计采购时间：2024年11月
预计采购时间：	2024-11
备注：