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北京科技大学步进式投影光刻系统

北京

发布时间： 2024年10月08日

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****2024年10至12月政府采购意向-****步进式投影光刻系统详细情况

****步进式投影光刻系统
项目所在采购意向：	****2024年10至12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	****步进式投影光刻系统
预算金额：	2700.000000万元(人民币)
采购品目：	A****9900其他仪器仪表
采购需求概况：	一、采购项目名称：步进式投影光刻系统二、采购需求概况：（一）采购标的名称：步进式投影光刻系统（二）采购标需实现的主要功能或者目标具备350 nm制程的光刻功能，可将掩膜版上的电路图案投影到涂覆光刻胶的晶圆上。采用步进式曝光方式，最小线宽（或曝光分辨率）350 nm以下，线宽均匀性50 nm以下，套刻精度70 nm以下，步进精度70 nm以下；兼容厚度350-1000 μm 的6/8英寸晶圆，支持Si、蓝宝石等多种衬底晶圆材料，支持6/8英寸晶圆快速切换，兼容2/4英寸套件；支持与涂胶显影机的在线连接，实现自动传片。（三）采购标的数量：1套（四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求合同签订并收到预付款或者LC后18个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。三、预算金额：2700万元四、预计采购时间：2024年11月
预计采购时间：	2024-11
备注：