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电子束光刻系统机台
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10000000.00
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***********公司企业信息
****2024年11月政府采购意向-电子束光刻系统机台 详细情况
| 电子束光刻系统机台 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 电子束光刻系统机台 |
| 预算金额： | 1000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900 其他电子和通信测量仪器
|
| 采购需求概况 ： |
电子束光刻（通常缩写为电子束光刻、EBL）是一种利用扫描电子聚焦束以在被称为抗蚀剂（曝光）的电子敏感膜覆盖的表面上绘制自定义形状的设备，该设备在微纳电子器件制作中起着关键作用。功能需求：系统最大样品尺寸应大于等于6英寸，单束电子束最小束斑直径小于等于3nm。
|
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2024-12-15
2024-11-21
2024-10-10
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