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高功率非晶态材料沉积系统
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1310000.00
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相关单位：
***********公司企业信息
****2024年11月政府采购意向-高功率非晶态材料沉积系统 详细情况
| 高功率非晶态材料沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 高功率非晶态材料沉积系统 |
| 预算金额： | 131.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
真空应用设备
|
| 采购需求概况 ： |
设备主要参数要求：主要技术指标：极限真空度≤10-6 Pa；分子泵抽气速率≥600 L/s；真空漏率≤10-8 PaL/s；靶材尺寸和数量：2英寸、6只；溅射功率：直流电源数量4台、功率≥500W，射频电源数量2台、功率≥1000W，要求搭载负偏压；样品台可加热温度：25-800℃，控温精度≤ 1 度，可在0-30转/分连续可调；控制精度：薄膜均匀性优于±3%；系统需配有薄膜厚度实时监测仪和三路流量控制计，可通氩、氧、氮三路气体。
|
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-05-19
合同公告
高功率非晶态材料沉积系统采购
2025-01-10
2024-12-27
2024-12-18
2024-12-11
2024-12-03
2024-11-26
2024-11-15
2024-10-11
招标预告
高功率非晶态材料沉积系统
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