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高温化学气相沉积外延炉
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6000000.00
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***********公司企业信息
****2024年11至12月政府采购意向-高温化学气相沉积外延炉 详细情况
| 高温化学气相沉积外延炉 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 高温化学气相沉积外延炉 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他电气设备
|
| 采购需求概况 ： |
1.用于碳化硅功率半导体器件及功率集成芯片的外延片制造，满足碳化硅高压功率器件及集成电路所需的高质量厚外延生长工艺需求，掺杂浓度和外延厚度均匀性片内≤2%，批间≤2% 2.可以实现高质量N型和P型外延层 3.表面粗糙度＜0.3nm @ 10×10μm2，致命缺陷密度<0.5psc
|
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-01-15
2024-12-25
2024-12-18
2024-11-23
2024-11-22
2024-10-14
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