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国家储能平台PECVD系统 (XJD2024101200023) 采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2024年10月15日

摘要信息

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相关单位：

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国家储能平台PECVD系统 (****) 采购公告

发布时间：2024-10-15 10:56:25

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求预算总价币种收货地址供应商资质要求

国家储能平台PECVD系统	****
2024-10-15 10:56:25	2024-10-19 12:00:00
****	货到安装、调试、验收合格后，付全款。
发布竞价结果后7天内签订合同	合同签订后7天内送达
	人民币
省市区**
无

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位附件

国家储能平台PECVD系统

1.00

套

无

品牌型号预算单价规格参数售后服务

科晶

OTF-1200X-II-80-3CLV-PE(UL)

1.加热装置最高使用温度:1200度(≤30min) 含2个长度200mm+200mm独立温区独立程序控温系统；管径80mm. 2.额定功率:5KW 最高使用温度:1200度(≤30min)； 3.工作温度:1100度,升温速率:≦10 度/min 4.加热元件:电阻丝(掺钼铁铬铝合金）； 5.仪表智能化50段可编程控制,恒温控温精度:±1℃； 6.等离子射频系统输出功率:5-500W±1% 射频频率:13.56MHz±0.005% 射频接口:50Ω,N-type 7.真空系统:真空计连接装置带滑轮双层立式油雾过滤装置智能控制系统；极限真空度： 1.0*10-1Pa；抽气速率：3L/S 壳体尺寸: 600mm(L)x600mm(W)x600mm (H) 8.供气系统：三个防腐气路数字显示，PLC触摸屏控制。质量流量控制三路MFC范围:100 \200\ 500\1000sccm可选。精度+1.5%FS。 9.订制专用石英管道样品架含冷却装置

1.为提升服务品质和后期功能扩充，参与竞价的必须提供针对本项目原生产商签署的授权书及售后服务承诺书。 2.交货期：15天内供货安装调试到位，包含气路电路连接，设备调试等等。 3. 质保期：货到安装验收合格后至少3年。