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| 1 | 高低温半自动射频探针台 | 1)X/Y快速平台移动范围≥210mm×228mm;微米级精细移动范围≥210mm×228mm; 2)系统变温范围:80K~500K,采用连续流降温技术,降温时间小于40分钟; 3)支持阻抗参数测试,|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、复数 Z、复数 Y、Vac、Iac、Vdc、Idc; 4)阻抗测试频率范围:20Hz to 120MHz,频率精度≤1ppm ± 1mHz,频率稳定性≤±0.5ppm/年; 5)支持至少2端口高频S参数测试,频率范围不小于100KHz to 20GHz; 6)具备VBscript脚本开发功能,带多任务执行模式和仪器通信接口驱动、具备半导体测试流程的全开发模式,带自动化测试及单次测试模式,带项目编辑器可顺序编辑测试项、控制探针台,数据交互等; 7)自动上传数据,下载recipe测试条件模块;测试数据模块; 8)保修两年。 |
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