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等离子磁控溅射镀膜仪成交公示
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等离子磁控溅射镀膜仪成交公示
日期: 2024-10-18 08:19:26
| 采购信息 | 采购单位名称 | 智能科学与技术系 | |||||
| 采购项目名称 | 等离子磁控溅射镀膜仪 | ||||||
| 成交供应商 | **** | ||||||
| 成 交 价 | 95000元 | ||||||
| 联系方式 | 联系邮箱 | cgzb@ahau.****.cn | |||||
| 公示时间 | 自发布公示之日起2个工作日 | ||||||
| 采 购 清 单 | |||||||
| 序号 | 物资名称 | 规格型号 | 单 价 | 数 量 | 技术参数 | ||
| 1 | 等离子磁控镀膜仪 | **科晶/VTC-2RF | 95000 | 1台 | 1. 射频输出功率：0-300W 2. 射频输出频率：13.56 MHZ 3. 靶材尺寸要求：φ50*（0.1-5）mm厚 4. 腔室尺寸：外径φ166*内径φ150*高250 mm，采用高纯石英制作 5. 腔室真空度： <5×10-5 torr （采涡旋分子泵） 6. 样品台尺寸：直径50mm （最大可放置2英寸的基片） 7. 样品台旋转速度：1- 10 rpm（可调速） 8. 样品台的最高加热温度为700℃(短期使用，恒温不超过1小时) 9. 真空测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa | ||
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