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高通量脉冲激光沉积系统

重庆 -重庆

发布时间： 2024年10月23日

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脉冲激光

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***********公司企业信息

****2024年12月政府采购意向-高通量脉冲激光沉积系统详细情况

高通量脉冲激光沉积系统
项目所在采购意向：	****2024年12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	高通量脉冲激光沉积系统
预算金额：	550.000000万元(人民币)
采购品目：	A****2402真空应用设备
采购需求概况：	拟建设系统是在衬底加热的条件下，实现一定范围氧压氛围内多元复杂氧化物薄膜的生长、原位质量监控与编程可控的薄膜高通量生长。主要涉及的参数包括背底真空、高温下背底真空、氧气氛围下的压强可控范围、基片温度范围、升温速率、反射式电子衍射使用压强范围、靶材数量、靶间距、激光能量密度等。需要包含如下主系统和配件沉积腔体程控系统 1套多靶材操作系统 1套衬底加热系统 1套反射式高能电子衍射仪 1套加载互锁传送真空室 1套准分子激光器与配套光路 1套臭氧发生器 1套一维掩膜板装置 1套
预计采购时间：	2024-12
备注：