金属干法刻蚀机招标公告

金属干法刻蚀机

招标公告

招标编号：****

本招标项目金属干法刻蚀机招标人为****，招标项目资金来自自筹资金，出资比例为 100%。该项目已具备招标条件，现对金属干法刻蚀机进行公开招标。

2.1项目概况：

（1）设备名称：金属干法刻蚀机。

（2）设备数量：1台，全新。

（3）用途说明：金属干法刻蚀机拟用于铌酸锂电光调制器产品生产中所涉及的Cr膜、Ti膜、Cr/Ti/Cr/Ti/Cr/Ti复合膜等金属刻蚀工艺,设备同时具备铌酸锂、SiO2、SiON刻蚀能力。

（4）功能模块的构成及其要求：该设备主要包括预真空室、反应室、ICP源（上电极）、RF源（阴极）、真空系统、工艺气体系统、终点监测装置、控制系统等模块。

2.2交货地点：****花园路14****集团公司第44研究所所区。

2.3交货期：合同生效后270天内。

本次招标实行资格后审，投标人应满足下列资格条件：

3.1投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民**国境内注册的法人或其他组织，具备****事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2本次招标接受制造商或代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商的授权书。

3.3本次招标不接受联合体投标。

3.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

凡有意参加投标者，请于2024年10月 23 日至2024年 10 月 29 日每日上午9：00到下午5：00（节假日****公司处或以电子邮件的方式进行登记报名并购买招标文件，招标文件售价500人民币/套，售后不退。详情请咨询023-****5002、136****6113。

5.1 投标文件递交的截止时间（同投标截止时间，下同）为：2024年 11 月 12 日 09 时00分（**时间，下同），递交投标文件时间：2024年 11 月 12 日08时30分－2024年 11月 12 日09时00分。地点：**市高新区西永大道36****酒店八楼807会议室。标书代写

5.2 逾期送达或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。标书代写

本次招标公告在“中国招标投标公共服务平台（http://www.****.com/）、中国电科电子采购平台（www.****.com）”上发布。

招标人：****

地址：****花园路14号

联系人：吴勇

电话：023-****0107

招标代理机构：****

地 址：**市**区五里店嘉景园B座14-1

联系人：张凤、杨涛

电话：023-****5002 136****6113

传真：023-****5001