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非接触电阻率测量仪（A-WZBX1052）采购公告

公告-招标公告

福建 -厦门

发布时间： 2024年10月24日

标书代写官方

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

电阻测量仪

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

非接触电阻率测量仪	****
2024-10-24 14:17:17	2024-10-27 16:00:00
****

	签约后30个工作日内
￥980000.00




******校区
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

非接触电阻率测量仪

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 980000.00

名称：非接触电阻率测量仪：主要技术规格：*方阻量程0.01 ohm/square至3200 ohm/sq 货期：合同签订后 6个月内到招标指定地点并安装完毕。一、技术规格及要求 1．货物描述 1.1名称：半自动无损方阻测试仪 1.2数量：1套 1.3用途：是半导体生产工艺控制、产品质量监测和提高产品良率的检测设备，包括对GaN与GaAs晶片如外延层、半绝缘衬底、掺杂衬底、退火离子注入、硅晶片如体硅、外延、离子注入、在高阻衬底上掺有POCl3及金属薄膜的加工进行全面有效监测。 2．规格及技术参数 2.1*测量晶圆尺寸：2” (50mm) to 8” (200mm) wafers 2.2*探头传感器尺寸：14 mm （全量程范围） 2.3*测量点数：≥217点，Mapping; 电阻率二维等高线图和3D图 2.4 各量程去边不大于7 mm 2.5*量程测量范围为：方块电阻0.01 至 3200 ohms/sq 2.6*全量程范围内线性度优于3% 2.7*标准偏差满足：0.7% 2.8*配备3个厂家标准片 2.9*带通风装置遮光罩 2.10先进的Mapping软件可以提供多点测量的2D和3D图形用于打印或JPG文件输出 2.11配备无损方阻测试软件； 2.12*测量能力：300到800微米厚的衬底，可调整探头间隙以测量更厚的衬底 2.13系统自带精密电源 2.14配备测量系统：包括主机、PC控制器、真空泵、厂家标准片 2.15 Mapping软件允许操作者自行建立recipe：同圆心多点测试模式recipe，规则的方形分布测试模式recipe，与无规律的随机点位测试模式recipe。 2.16 无损方阻测试软件的SPC chart 功能包括：最大，最小，平均值。 2.17 测量数据通过CSV格式文件保存，并可通过Excel编辑数据。 2.18 设备自带真空监控功能，能判别真空度不合格并软件提示。 2.19 单点测试时间:<2秒/点（不计机械运动时间，仅计测试时间）。 2.20 设备除了电源线接地，还能外壳接地，避免风险。 3.其他要求: 3.1*系统本身国内国外无专利侵权 3.2*保养周期可达>10000小时

商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;