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| 偏压辅助离子刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 偏压辅助离子刻蚀系统 |
| 预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****2402真空应用设备
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| 采购需求概况 : |
利用偏压辅助离子刻蚀系统实现对超硬材料、半导体材料的精密切割和表面刻蚀处理。切割损耗不大于200um,切割材料表面精度不大于0.5um。采购数量1台套,需要提供售后服务、调试设备及软件升级服务。
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| 预计采购时间: | 2024-11 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写